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臺式掃描電鏡的操作步驟與維護保養
臺式掃描電鏡的操作步驟通常包括以下幾個關鍵階段：
樣品制備：確保樣品干燥、清潔，并牢固地粘貼在導電膠上。使用潔凈的壓縮氣體吹掃樣品表面，以去除任何雜質。
設備設置：將樣品放入掃描電鏡的樣品杯中，并調整樣品臺的位置，使其低于樣品杯上緣一定距離。然后，打開掃描電鏡的艙門，將樣品杯放入，并關閉艙門。
參數調節：在掃描電鏡的控制面板上，設置合適的加速電壓和束流，通常加速電壓選擇在1-30kV范圍內。接著，進行聚焦和放大倍數的調整，以獲得清晰的圖像。
圖像捕捉：在最佳成像條件下，捕捉并保存所需的圖像。
維護保養方面，臺式掃描電鏡需要定期進行以下工作：
清潔：定期清潔掃描電鏡的電子光學系統和真空系統，以防止污染和性能下降。使用專用的清潔工具和溶劑，確保不會損壞設備。
檢查：定期檢查設備的各個部件，包括電子槍、探測器、樣品臺等，確保其正常工作。
校準：定期對掃描電鏡進行校準，以確保其成像質量和分辨率的準確性。
記錄：如實記錄設備的使用時間、維護情況和任何異常情況，以便及時發現并解決問題。
遵循正確的操作步驟和定期的維護保養，可以確保臺式掃描電鏡的長期穩定運行和成像質量。