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三維表面輪廓儀是一種先進的測量設備，主要用于測量和分析物體表面的三維輪廓和形貌。其主要基于光學原理進行測量。它利用激光或其他光源投射到被測物體表面，通過接收反射光或散射光，結合計算機圖像處理技術，獲取物體表面的三維坐標數據。這些數據可以進一步用于分析物體表面的形狀、粗糙度、紋理等特征。
三維表面輪廓儀的技術特點：
1、高精度測量：具備納米級的檢測精度，能夠精確獲取工件表面的三維形貌和數據。
2、大垂直掃描范圍：某些設備提供150um的壓電陶瓷驅動垂直掃描，以及最大可達20mm的擴展掃描能力。
3、出色的重復性：重復性小于0.1nm RMS，確保測量結果的可靠性。
4、橫向分辨能力：空間采樣率可達到0.30um（使用100X物鏡時）甚至更高，這允許設備捕捉到微觀細節。
5、快速掃描速度：最大掃描速度可達96um/s，提高了檢測效率。
6、臺階測量線性度：重復性≤0.1%，保證了測量的準確性。
7、多功能性：除了用于半導體、微機電系統等領域的質量控制，還可以應用于文物保護、地形測繪等多個行業。
總的來說，三維表面輪廓儀是一種高新技術產品，其技術特點使其在精密工程和科學研究中扮演著重要角色。通過這些特點，三維表面輪廓儀能夠為用戶提供精確的表面形貌測量，從而保證產品質量和科研數據的有效性。