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產品簡介
5英寸近距離蒸發鍍膜爐是一款快速熱處理爐，其爐腔體是一直徑為11英寸的石英管。此款設備專門實際針對于熱蒸發或CSS（Close Spaced Sublimation）鍍膜實驗，其鍍膜面積可達到5“x5“。此款高溫爐的加熱元件是兩組紅外燈管（分別位于頂部和底部），升溫速率為 20°C/s。
詳細介紹
產品參數
| 爐體結構和真空腔體 | 采用兩個溫度控制器，分別控制頂部和底部兩組加熱元件。安裝有浮子流量計，可向真空腔體中通入氣體 真空腔體為一高純的石英管，其尺寸為∶ 11" OD10.8 Dx9 Hmm |
| 真空法蘭 | 真空法蘭為316不銹鋼制作 頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個14"軟管接頭的出氣口底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個14"軟管接頭的進氣口法蘭是通過兩個硅膠O型圈進行密封，用機械泵其腔體內真空度可達10²tr，用分子泵其腔體內真空度可達10-tor. |
| 加熱元件和載樣臺 | 由兩組紅外燈管作為加熱元件，分別位于頂部和底部 兩個加熱臺之間的距離可以通過直流電機調節，調節范圍為∶2-50mm 為了減少熱量輻射和達到較快的冷卻速率，加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中，（不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作） 采用導熱率較高的氮化鋁陶瓷片（5"×5×0.5mm厚度）作為載樣臺，以達到較好的加熱均勻性底部載樣臺上可放入5"x5"的石墨坩堝來盛放蒸發原料此款儀器使用時需要配用一循環水冷機（16L/m） |
| 溫控系統 | 兩個精密的溫控系統分別獨立控制上下兩個加熱區，可設置30段升降溫程序每個溫控系統都帶有超溫和斷偶保護 FC通訊接口，軟件可安裝，可將控溫程序和溫度曲線導入到電腦中 |
| 工作溫度 | 工作溫度為∶800℃兩個加熱區之間的溫差頂值為300℃ |
| 加熱和冷卻速率 | 加熱速率> 8℃s（每個溫區單獨加熱）冷卻速率> 10℃/s （600.100°C） |
| 熱電偶 | 兩個K型熱電偶，安裝在頂部和底部，都與氮化鋁陶瓷片相接觸 |
| 工作電壓 | 208-240VAC，單相，（需要20A的空氣開關） |
| 功率 | 3000w |
| 可選 | 實驗時需要一個真空泵，可與本公司選購真空泵采用機械泵可使腔體內的真空度達到k=10E-2 torr若要使真空腔體內達到更潔凈的工作環境，可換購無油泵 也可選購質子流里計混氣系統，將實驗所需氣體安比列混好后導入到真空腔體中 |
| 質保 | 一年質保期，終生維護（不包括密封圈、加熱元件和石英管） |
| 使用注意事項 | 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加準確安全 擋爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時間使用溫度<1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于002MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |