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納米壓印系統(tǒng)的原理

閱讀:1771        發(fā)布時(shí)間:2023/8/30
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  隨著科技的進(jìn)步和發(fā)展,人們從理論和實(shí)驗(yàn)研究中發(fā)現(xiàn),當(dāng)許多材料被加工為具有納米尺度范圍的形狀時(shí),會(huì)呈現(xiàn)出與大塊材料完*不同的性質(zhì)。這些特異的性質(zhì)向人們展現(xiàn)了令人興奮的應(yīng)用前景。在開發(fā)超大規(guī)模集成電路工藝技術(shù)的過程中,如電子束與X射線曝光,聚焦離子束加工技術(shù)等。但這些技術(shù)的缺點(diǎn)是設(shè)備昂貴,產(chǎn)量低,因而產(chǎn)品價(jià)格高昂。商用產(chǎn)品的生產(chǎn)必須是廉價(jià)的、操作簡(jiǎn)便的,可工業(yè)化批量生產(chǎn)的、高重復(fù)性的;對(duì)于納米尺度的產(chǎn)品,還必須是能夠保持它所*有的圖形的精確度與分辯率。
  納米壓印系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)微米和納米尺度圖形結(jié)構(gòu)的復(fù)制加工,采用單面氣壓方式,有力保證了壓印的均勻性,減少碎片的發(fā)生。中間聚合物轉(zhuǎn)印則可以較大程度保護(hù)原始模具,延長(zhǎng)使用壽命。
  納米壓印系統(tǒng)是基于其機(jī)械壓印原理,將具有納米級(jí)尺寸圖案的模板在機(jī)械力的作用下壓到涂有高分子材料的襯底上,進(jìn)行等比例壓印復(fù)制圖案的工藝。其實(shí)質(zhì)就是液態(tài)聚合物對(duì)模板結(jié)構(gòu)腔體的填充過程和固化后聚合物的脫模過程。其加工分辨力只與模版圖案的特征尺寸有關(guān),而不受光學(xué)光刻的*短曝光波長(zhǎng)的物理限制。具有避免使用昂貴的光源及投影光學(xué)系統(tǒng),不受光學(xué)光刻的*短曝光波長(zhǎng)的物理限制和工藝簡(jiǎn)便等特點(diǎn),其高精度、高分辨率、廉價(jià)的特點(diǎn)使其很可能成為下一代重要的光刻技術(shù),一種重要的微納米復(fù)制技術(shù)。

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