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日本昭和ssvi高性能型主動(dòng)隔振裝置VAAV-L
配備了專門用于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動(dòng)。
原始的主動(dòng)振動(dòng)隔離算法可高速計(jì)算，高精度高輸出執(zhí)行器可立即消除振動(dòng)。

日本昭和ssvi高性能型主動(dòng)隔振裝置VAAV-L

 

配備了專門用于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動(dòng)。

 

原始的主動(dòng)振動(dòng)隔離算法可高速計(jì)算，高精度高輸出執(zhí)行器可立即消除振動(dòng)。

 

超靈敏的加速度傳感器慷慨地安裝在地板一側(cè)，前饋控制實(shí)現(xiàn)了世界上gao水平的隔振性能。

 

在保持高性能和高精度隔振性能而沒有共振現(xiàn)象的同時(shí)，安裝臺(tái)的激振力所產(chǎn)生的振動(dòng)也會(huì)同時(shí)衰減。

• 無共振的振動(dòng)傳遞特性。
  由于它配備了VAAV系列中柔軟的空氣彈簧，因此具有該系列中g(shù)ao的隔振性能。
• 氣動(dòng)控制可實(shí)現(xiàn)全fang位高精度的位移和位置控制。
• 它特別適用于對(duì)振動(dòng)敏感的精密測(cè)量?jī)x器，以及針對(duì)低頻振動(dòng)較大的安裝環(huán)境的抗振動(dòng)措施。
• 安全可靠的設(shè)計(jì)與CE標(biāo)記兼容。（控制器SAC-07）
• 振動(dòng)波形顯示分析軟件是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。

日本昭和ssvi高性能型主動(dòng)隔振裝置VAAV-L

• 電子顯微鏡可防止高倍率圖像因振動(dòng)而晃動(dòng)。該主動(dòng)隔振臺(tái)對(duì)于不喜歡被動(dòng)隔振臺(tái)無法消除的低頻振動(dòng)的顯微鏡有效。
• 它用作對(duì)振動(dòng)特別敏感的設(shè)備的振動(dòng)對(duì)策，例如掃描隧道顯微鏡，原子力顯微鏡和光學(xué)測(cè)量設(shè)備。
• 低頻振動(dòng)大的安裝地面環(huán)境的防振措施

模型	可安裝質(zhì)量（1個(gè)單位）	尺寸（1個(gè)單位）
VAAV-550L	270?900公斤	215（寬）x 160（深）x 240（高）mm
VAAV-1000升	500-1700公斤	225（寬）x 180（深）x 240（高）mm
VAAV-4000L	2100-7000公斤	350（W）x 350（D）x 325（H）毫米

 

控制器 SAC-07	300（W）x 300（D）x 118（H）毫米
電源供應(yīng)	AC100V-240V 100VA（單相）
電源線	3m
調(diào)節(jié)器 RGU-07	250（W）x 100（D）x 200（H）毫米
單元連接電纜	5m

自由度	3軸6自由度
振動(dòng)傳遞函數(shù)
定位精度	±10微米
主供氣壓力	0.6MPa以上（清潔空氣）
耗氣量	標(biāo)準(zhǔn)閥60 L / min 高速響應(yīng)閥250 L / min