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技術(shù)文章

用于硅晶片表面氧化時(shí)的加熱和檢查用鹵素?zé)艚榻B

閱讀:555          發(fā)布時(shí)間:2024-12-2

用于硅晶片表面氧化時(shí)的加熱和檢查用鹵素?zé)艚榻B

在半導(dǎo)體制造過(guò)程中用作鹵素?zé)襞荩糜诠杈砻嫜趸瘯r(shí)的加熱和檢查。

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★  鹵素?zé)粢蚱錅囟雀摺⒓t外輻射集中,是半導(dǎo)體行業(yè)硅片外延生長(zhǎng)過(guò)程的理想熱源。這些燈提供明亮、均勻的光線,并且使用壽命長(zhǎng),減少了維護(hù)工作量和成本。

我們的主要紅外鹵素?zé)粼诎雽?dǎo)體行業(yè)中用作硅晶圓外延加工的熱源。


★ 它也可以很好地用作聚光燈,通過(guò)使用鹵素?zé)襞荩梢詣?chuàng)造出適合您需求的照明環(huán)境。對(duì)于那些尋求專業(yè)照明解決方案的人來(lái)說(shuō),我們的鹵素?zé)舻倪x擇。

我們的主要紅外鹵素?zé)粼诎雽?dǎo)體行業(yè)中用作硅晶圓外延加工的熱源。


★ 我們提供適合各種應(yīng)用的一系列產(chǎn)品,因此您可以選擇適合您特定要求的燈。我們提供多種選擇來(lái)滿足任何照明需求。

場(chǎng)所提供您對(duì)聚光燈的要求,我們可以使用鹵素?zé)襞轄I(yíng)造的氛圍。


★ 如果您有興趣,請(qǐng)隨時(shí)與我們聯(lián)系,我們將提供更詳細(xì)的信息和目錄。

適合專業(yè)應(yīng)用的燈,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系。


應(yīng)用:

設(shè)備應(yīng)用:

  • ●CVD化學(xué)氣相沉積



  • ●多晶硅沉積


  • ●外延/外延加工


  • ●RTP快速熱處理


  • ●氧化



  • ●離子注入退火



設(shè)備名稱  設(shè)備

型號(hào) P/N

燈 燈說(shuō)明
1010-01116
JCD120-800W
1010-01088JCV120V-1000WB

0190-22509A6
0190-42680A8
0190-39351E9
0190-3634982V 500W 黑色
0190-38516 82V 540W 藍(lán)色
0190-38517 95V 645W 紅色
0190-2680595V 645W 綠色



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