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日本seisen半導體氣體過濾器產品分析
閱讀：1469 發布時間：2023-2-7日本seisen半導體氣體過濾器產品分析
NASclean®是將微米級不銹鋼短纖維（SUS316L）燒結而成的薄層金屬膜過濾器。我們通過從過濾介質（不銹鋼短纖維）到最終產品的一體化生產，為半導體、平板顯示器、太陽能電池板等生產過程中使用的氣體過濾做出貢獻。
用于工藝氣體
使用不銹鋼短纖維的金屬膜過濾器。
壓力損失小，顆粒去除性能高。
適用于100SLM以下的流量，可用于各種工藝氣體。
用于工藝氣體管線的小流量過濾器 (186KB)
用于散裝氣體
過濾介質的褶皺形狀即使在高流量下也能實現低壓損失。
高溫烘烤是可能的，因為它是全金屬的。
支持高達3000Nm 3 /hr的大流量。
用于散裝氣體管線的大流量過濾器 (178KB)
用于設備保護
MFC、閥門、調節器等設備保護過濾器
可根據使用條件選擇低壓型或高壓型。
可安裝在現有管道上。
管式高壓超精密過濾器 (199KB)
低壓用圓盤式超精密過濾器 (182KB)
用于 IGS 面板
與集成氣體面板過濾器、1.125W-Seal、1.125C-Seal、1.5W-Seal 兼容。
通過采用褶皺介質實現小型化。
采用機械密封，介質部分為無焊縫結構。
用于集成氣體面板的 IGS 過濾器 (202KB)
用于擴散器
使用褶皺介質可實現高速排氣。
通過防止顆粒卷起有助于提高產品產量。
可根據安裝空間進行設計。
用于常壓恢復的高速排氣過濾器 (189KB)