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微納3D打?。簽槲㈦娮犹沾煞庋b注入新動能

閱讀:244      發布時間:2025-2-24
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當增材制造與人工智能、數字孿生技術深度融合,微電子封裝技術正在向自適應智能系統進化。隨著半導體器件向微型化、三維集成化方向加速演進,傳統封裝工藝的局限性日益凸顯。在這關鍵轉折點上,以休斯研究實驗室(HRL Laboratories)為代表的科研機構,正通過3D打印技術重塑微電子封裝的底層邏輯,開啟產業變革的新篇章。

在微電子技術向三維異構集成演進的關鍵階段,低溫共燒陶瓷(LTCC)和高溫共燒陶瓷(HTCC)技術雖在規模化生產中占主導,但其二維層壓-燒結工藝存在局限性,導致電氣布線受限,面臨幾何自由度不足、集成密度瓶頸和異質集成障礙等挑戰。特別是在紅外焦平面陣列(FPA)的異質集成中,傳統平面中介層難以滿足曲面探測器的精準對接需求,導致信號路徑和阻抗匹配問題。

休斯研究實驗室作為波音與通用汽車共同孕育的創新引擎,在Tobias Schaedler博士的帶領下,通過摩方精密面投影微立體光刻(PμSL)3D打印技術實現了陶瓷封裝領域的革命性突破。這項技術不僅攻克了傳統工藝的物理極限,更重新定義了微電子系統的集成范式,為半導體產業開啟了全新的技術維度。

研究團隊設計并利用摩方精密microArch® S230 (精度:2 μm)3D打印系統打印后高溫熱解得到含有通孔陣列的陶瓷中介層,其中通孔的直徑與間距分別小至9 μm和18 μm。在此基礎上,采用熔融滲透技術對通孔進行金屬化處理,構建了電氣路徑,開創了通孔布線的新篇章,實現了包括彎曲和傾斜通孔在內的復雜布線,為微電子系統的三維集成封裝提供了創新方案。

圖1. 3D打印中介層制造原理圖。

本研究展示了兩種創新中介層設計:一是彎曲型中介層,其設計理念是為了實現彎曲紅外探測器與平面讀出集成電路(ROIC)的有效連接;二是扇出型中介層,該設計成功將通孔陣列的間距從60μm擴展至220μm。這兩種中介層的實現,需依賴于數千個彎曲和傾斜通孔的精確制造,這一技術高度超越了傳統微電子加工方法的局限。

圖2. 彎曲型中介層。

圖3. 扇出型中介層。

隨后,研究團隊測試出金屬化處理后的通孔電阻約為4 x 10-8 ??m,與銀和銅的電阻值處于同一數量級,通過微納3D打印技術制造的彎曲和傾斜通孔結構,可突破傳統工藝的布線限制,為高分辨率成像傳感器提供緊湊型系統解決方案。

在這場由增材制造驅動的陶瓷封裝技術創新中,休斯研究實驗室的實踐印證了三點產業規律:精密制造需回歸材料本源,工藝創新需突破維度約束,技術突破需構建跨學科協同。未來,隨著微納3D打印技術的加入,將會進一步重構電子器件的物理形態,開啟智能硬件進化的新維度,更催生出具備環境感知與自主優化的新一代智能精密硬件。

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