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影響臭氧發生器技術水平及質量的幾個主要因素：

1、氣源

氣體的性質（高濃度氧或空氣）及干燥度對臭氧發生器的效率及性能有著重要的影響。氣源中含有的水氣及微粒應被去除到非常少，存在于氣源中的雜質會沉積在電極表面影響放電。源氣中的水氣會導致兩個嚴重的問題：①將會造成臭氧產量急劇下降；②空氣中的一小部分氮將被氧化溶解在水氣中形成硝酸對設備造成腐蝕。源氣的露點應保持在-60C以下以防止這類事情的發生。

2、放電電源

臭氧由于是在高能電磁場下形成的，因而需要有外界提供相應的能量，這就是臭氧放電電源，電源頻率的提高可減少設備體積，降低放電電壓，提高系統的安全性和可靠性，但中高頻電源的應用需要電力半導體技術做支撐。臭氧在應用之初，使用的是工頻電源，設備體積龐大。隨著電力半導體技術的飛速發展，中高頻臭氧發生器電源的可靠性得到大幅度的提高，目前國際上*臭氧發生器廠家在大功率臭氧發生器上普遍采用了中高頻電源（大于400Hz）。在小型臭氧發生器也有采用工頻電源的。