掃描電子顯微鏡(SEM) 是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。
掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣_上掃描，激發出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。
掃描電鏡主要可以分為三個部分:
a.電子光學系統
作用:是用來獲得很細的電子束(直徑約幾個nm)，作為產生物理信號的激發源。
b.信號收集處理，圖像顯示和記錄系統
作用:收集(探測)樣品在入射電子束作用下產生的各種物理信號，并進行放大；將信號檢測放大系統輸出的調制信號轉換為能顯示在陰極射線管熒光屏上的圖像，供觀察或記錄。
c.真空系統
作用:保證電子光學系統正常工作，防止樣品污染，避免燈絲壽命快速下降。
需要提供高的真空度，一般情況下要求保持10-4~10-5mmHg的真空度。
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