圖：INVENIO FTIR-MAPPIR II
布魯克（北京）科技有限公司上海客戶體驗中心，新近安裝了傅立葉變換紅外半導體晶圓自動測試系統。
客戶體驗中心這套系統附件多樣、擴展口豐富、功能齊備，可以實現：
直徑4寸6寸8寸的晶圓鏡面反射和透射自動多點測量
根據ASTM/SEMI MF1391標準，進行室溫下硅晶圓中代位碳原子含量分析
根據ASTM/SEMI MF1188標準，進行室溫下硅晶圓中間隙氧含量分析
同質、異質外延層厚度分析，專業的擬合分析軟件，可用于亞微米量級至毫米量級單層、多層外延層厚度分析
磷硅玻璃(PSG)和硼磷硅玻璃(BPSG)中硼和磷含量定量分析
SiN等離子層和Si-O基鈍化層等膜層分析
SiC同質外延厚度
單晶Si中代位碳，間隙氧含量
Si-SiO2-Si外延厚度
誠摯歡迎各位老師的蒞臨、參觀、試用、體驗與指導！
6
立即詢價
您提交后，專屬客服將第一時間為您服務