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當(dāng)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)需要采用排風(fēng)機(jī)，排除儀器的熱量及工作時產(chǎn)生的有毒氣體時，實(shí)驗(yàn)室與外部就形成壓力差，實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)生負(fù)壓，室外含有大量灰塵的空氣從門窗的縫隙中流入室內(nèi)，大量積聚在電感耦合等離子體光譜儀的各個部位上，容易造成高壓組件或接頭打火，電路板及接線、插座等短路、漏電等各種各樣的故障，因此，ICP電感耦合等離子體光譜儀需要經(jīng)常進(jìn)行除塵。特別是計(jì)算機(jī)、電子控制電路、高頻發(fā)生器、顯示器、打印機(jī)、磁盤驅(qū)動器等，定期拆卸或打開，用小毛刷清掃，并同時使用吸塵器將各個部分的積塵吸除。對光電倍增管負(fù)高壓電源線、及計(jì)算機(jī)顯示器的高壓線及接頭，還要用紗布沾上少許無水酒精小心的抹除積炭和灰塵。電感耦合等離子體光譜儀的磁盤驅(qū)動器及打印機(jī)清出灰塵之后，要在機(jī)械活動部件滴加少許儀表油。打印機(jī)的打印頭還要拆下，電感耦合等離子體光譜儀要用軟毛刷刷掃，并用絨布抹凈，防止針孔被紙屑堵塞，然后按照說明書調(diào)整一定的打印壓力。
對于儀器除塵，一般由電子，儀修或計(jì)算機(jī)的專業(yè)人員幫助，電感耦合等離子體光譜儀儀器使用或管理人員如不懂電子知識，不了解儀器結(jié)構(gòu)，不要輕易去動，以免發(fā)生意外，除塵應(yīng)事先停機(jī)并關(guān)掉供電電源下進(jìn)行。