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國儀量子場發射掃描電子顯微鏡SEM5000
產品介紹
SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發射掃描電子顯微鏡。
先進的鏡筒設計，高壓隧道技術（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設計，實現了低電壓高分辨率成像，同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互，優化的操作和使用流程，無論經驗是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務。
電子槍類型 高亮度肖特基場發射電子槍
加速電壓 0.1 kV ~ 30 kV
分辨率 1 nm @ 15 kV 2.5 nm @ 1 kV
樣品臺 五軸全自動樣品臺
放大倍率 1 ~ 1,000,000 x
產品特點
分辨率高，低加速電壓下實現高分辨成像
高壓隧道技術 (SuperTunnel), 在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應，低電壓分辨率得到保證
電子光路無交叉，有效的降低系統像差，提升分辨能力
電磁復合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品
水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩定性、可靠性和可重復性
磁偏轉六孔可調光闌，自動切換光闌孔，無需機械調節，實現高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
應用領域
規格參數
電子光學系統
分辨率 1.0nm @ 15 kV
2.5 nm @ 1 kV
放大倍率 1 x ～ 1,000,000 x
加速電壓 0.1 kV ～ 30 kV
電子槍類型 高亮度肖特基場發射電子槍
磁場屏蔽 被動式磁屏蔽
主動式磁屏蔽（選配）
成像系統
探測器 鏡筒內高角度電子探測器（Inlens-SE Detector）
側向二次電子探測器（ET Detector）
擴展 背散射電子探測器（BSE Detector）
能譜儀（EDS）
背散射衍射（EBSD）
電子束感生電流（EBIC）
陰極熒光（CL）
圖像保存格式 TIFF、JPG、BMP、PNG
樣品室
真空控制方式 全自動控制，無油真空系統
攝像頭 雙攝像頭
( 光學導航 + 樣品倉內監控 )
樣品臺配置 五軸全自動樣品臺
行程
X: 130 mm
Y: 105 mm
Z: 40 mm（大行程可選配）
R: 360°
T: -10°～ +90°
減震
主副減震支架
雙氣室隔膜式減震器
主動式減震器（選配）
軟件
語言 中文
操作系統 Windows
導航 光學導航、手勢快捷導航
自動功能 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散
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