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國儀量子技術(合肥)股份...

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國儀量子應用中心儀器上新——場發射掃描電鏡SEM5000

閱讀:7273      發布時間:2022-6-23
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近日,國儀量子應用中心迎來重磅新品——場發射掃描電鏡SEM5000。

SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發射掃描電子顯微鏡,有著先進的鏡筒設計,鏡筒內減速、低像差無漏磁物鏡設計,實現了低電壓高分辨率成像,同時可適用于磁性樣品。SEM5000具有光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互,優化的操作和使用流程。

無論操作者是否具有豐富經驗,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務。


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<<< 左右滑動查看SEM5000 >>>


電子槍類型:高亮度肖特基場發射電子槍

分辨率:1 nm @ 15 kV 

1.5 nm @ 1 kV

放大倍率:1 ~ 1000000 x

加速電壓:20 V ~ 30 kV

樣品臺:五軸全自動樣品臺

產品特點


01

分辨率高,低加速電壓下實現高分辨成像


02

電磁復合物鏡,減小像差,顯著提高低電壓下的分辨率,而且可觀察磁性樣品


03

鏡筒內減速,在隧道中的電子能保持高能量,減少了空間電荷效應,低電壓分辨率得到保證


04

電子光路無交叉,有效降低系統像差,提升分辨能力


05

水冷恒溫物鏡,保證物鏡工作的穩定性、可靠性和可重復性


06

磁偏轉六孔可調光闌,自動切換光闌孔,無需機械調節,實現高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換


應用領域

場發射掃描電鏡SEM5000可廣泛應用于鋰電、芯片半導體、陶瓷、建筑材料、電子元器件、化學化工、生物醫療、環保、金屬材料等領域。


場發射掃描電鏡SEM5000拍攝案例


櫻花花粉

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經偽彩處理

NVP

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TIO2

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鈦酸鋰

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正極極片

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負極極片

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極片表面的導電添加劑

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隔膜

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