失效分析是近些年由軍工企業向科研學者及企業所普及的一門新學科[3]，金屬零部件失效輕則會導致工件性能退化，重則會導致人生安全事故，通過失效分析定位失效原因，提出有效改進措施是保證工程安全運行不可少的一步，因此，充分利用掃描電鏡的優勢將為金屬材料行業的進步做出巨大貢獻。
掃描電鏡作為一種顯微分析工具，可以對金屬材料進行多種形式的觀察，可以對各類缺陷進行詳細的分析、金屬材料失效的原因進行綜合定位分析，隨著掃描電鏡功能的不斷完善和提升，掃描電鏡能夠完成的工作也越來越多，不僅為改善材料性能的研究提供了可靠依據，同時也在生產工藝控制、新產品設計和研究等方面發揮了重要作用。
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