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直線四探針法測量硅片電阻率的試驗方法RTS9四探針測試儀

閱讀:317          發(fā)布時間:2020-2-8
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RTS-9型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計算機控制下進行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進行動態(tài)的自動修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測量結(jié)果的準確度。所有這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實現(xiàn)的。

RTS-9軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序。測試程序在計算機與RTS-9型四探針測試儀連接的狀態(tài)下,通過計算機的并口實現(xiàn)通訊。
    測試程序控制四探針測試儀進行測量并實時采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析

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