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SEM4000場發射掃描電鏡
SEM4000是一款分析型熱場發射掃描電子顯微鏡，配備了高亮度、長壽命的肖特基場發射電子槍。三級磁透鏡設計，束流最大可達200 nA，且連續可調，在EDS、EBSD、WDS等應用上具有明顯優勢。支持低真空模式，可直接觀察導電性弱或不導電樣品。標配的光學導航模式，以及直觀的操作界面，讓您的分析工作倍感輕松。
產品特點
01：配備高亮度、長壽命的肖特基場發射電子槍
02：分辨率高，30 kV下優于1 nm的極限分辨率
03：三級磁透鏡設計，束流可調范圍大，最大支持200 nA的分析束流
04*低真空模式，以及高性能的低真空二次電子探測器，可觀察導電性弱或不導電樣品
05：無漏磁物鏡設計，可直接觀察磁性樣品
06：標配的光學導航模式，中文操作軟件，讓分析工作更輕松
產品參數
關鍵參數 | 分辨率 | 1 nm @ 30 kV，SE |
0.9 nm @ 30 kV, STEM | ||
加速電壓 | 200 V ~ 30 kV | |
放大倍率 | 1 ~ 1,000,000 x | |
電子槍類型 | 肖特基場發射電子槍 | |
樣品室 | 真空系統 | 全自動控制 |
低真空模式（選配） | 最大180Pa | |
攝像頭 | 雙攝像頭（光學導航+樣品倉內監控） | |
行程 | X：120 mm | |
Y：115 mm | ||
Z：50 mm | ||
T: -10°~ +90° | ||
R: 360° | ||
探測器和擴展 | 標配 | 側向低角度電子探測器 |
選配 | 低真空二次電子探測器 | |
背散射電子探測器 | ||
STEM自動插入式掃描透射探測器 | ||
樣品交換倉 | ||
EDS能譜儀 | ||
EBSD背散射衍射 | ||
EBIC電子束感生電流 | ||
CL陰極熒光 | ||
高低溫原位拉伸臺 | ||
納米機械手 | ||
大圖拼接 | ||
軌跡球&旋鈕控制板 | ||
軟件 | 語言 | 中文 |
操作系統 | Windows | |
導航 | 光學導航、手勢快捷導航 | |
自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 |
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