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場發射掃描電鏡 SEM5000
SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發射掃描電子顯微鏡。
*鏡筒設計，高壓隧道技術（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設計，實現了低電壓高分辨率成像，同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互，優化的操作和使用流程，無論經驗是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務。
產品特點
分辨率高，低加速電壓下實現高分辨成像
電磁復合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品
高壓隧道技術(SuperTunnel) ，在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應，低電壓分辨率得到保證
電子光路無交叉，有效的降低系統像差，提升分辨能力
水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩定性、可靠性和可重復性
磁偏轉六孔可調光闌，自動切換光闌孔，無需機械調節，實現高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
應用領域
關鍵參數 | 分辨率 | 1.0?nm @ 15 kV，SE 0.8 nm @ 30 kV，STEM |
加速電壓 | 20 V ～ 30 kV | |
放大倍率 | 1 ～ 2,500,000 x | |
電子槍類型 | 肖特基場發射電子槍 | |
樣品室 | 真空系統 | 全自動控制，無油真空系統 |
攝像頭 | 雙攝像頭 | |
樣品臺行程 | X: 120 mm，Y: 115 mm，Z: 50 mm （* 可選配超大倉體版本） | |
探測器和擴展 | 標配 | 鏡筒內高角度電子探測器 |
選配 | 插入式背散射電子探測器 軌跡球 & 旋鈕控制板 | |
軟件 | 語言 | 中文 |
操作系統 | Windows | |
導航 | 光學導航、手勢快捷導航 | |
自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 |
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