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電子半導體純水設備維護保養
電子半導體純水設備的維護保養需結合多維度管理策略，具體要點如下：
一、日常維護要點
1.?濾芯監測與更換?
每批次制水后檢查PP棉濾芯顏色變化，發黃面積超1/3時立即更換；反滲透膜安裝在線電導率儀，產水電阻率下降15%即觸發預警。
前置過濾器（如石英砂、活性炭）定期反沖洗（1-3天/次），石英砂每3-6個月檢查磨損情況，活性炭6-12個月更換。
2.?壓力參數管理?
每日記錄進水與濃水壓力差，壓差超過0.15MPa優先檢查保安過濾器，壓力表指針進入紅色區域超2小時自動停機。
3.?密封性檢查?
每周執行O型圈潤滑保養，采用“眼看、手摸、紙測、保壓"四步法檢測微滲漏。
二、反滲透（RO）系統維護
1.?清洗周期判斷?
產水量下降10%-15%、脫鹽率下降5%-10%或壓差增加10%-15%時需清洗，一般3-6個月/次。
2.?化學清洗流程?
使用專用清洗液循環清洗1-2小時，重度污染可延長浸泡時間，最后大流量沖洗30-60分鐘去除污染物，沖洗水pH需控制在6.5-7.5。
三、EDI模塊維護
1.?前置過濾器維護?
定期更換濾芯，確保EDI模塊免受污染。
2.?模塊再生與清洗?
通過電化學反應去除雜質，使用專用清洗劑按手冊操作，關注電導率異常升高現象。
四、離子交換樹脂管理
1.?再生周期?
樹脂交換容量下降時需再生，通常1-3個月/次，再生液（酸/堿）濃度、流速需嚴格把控。
2.?更換標準?
樹脂破碎率達40%或多次再生后性能未恢復時更換。
五、周期性深度保養
1.?季度維護?
紫外線燈管強制更換（9000小時）、EDI模塊極水流量調節、儲水罐CIP清洗（0.1%過氧乙酸循環30分鐘）。
2.?年度大修?
反滲透膜離線分段清洗、泵體拆解維護、管路系統臭氧與巴氏殺菌交替消毒。
六、環境與水質管控
1.?運行環境?
保持設備干燥清潔，濕度控制防止微生物滋生。
2.水質監測?
每日檢測電導率、TOC等參數，異常時觸發預警機制。
七、停機維護策略
長期停用時排空儲水并消毒，重啟前檢查水路電路，放水15分鐘確認水質正常后再啟用。
通過以上多維度維護體系，可有效延長設備壽命3-5年，降低突發故障率80%。