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產品特點：

等離子源采用頻率為13.56MHz射頻發生器，同時具備物理清洗和化學清洗能力。

電源功率為200W，覆蓋常規處理需求

創新設計，可調整電極之間距離，調整等離子體濃度和強度，極大提升處理效率和能力

真空腔體和管道連接件均采用316不銹鋼，電極6061航空鋁合金，配件材質精良，保證設備穩定高效運行

樣品處理面積可達125mm（大處理面積可達200mm，如有需求請咨詢銷售人員）

4.3寸工業級觸摸屏，操作簡單，可設置多種實驗參數

性能穩定可靠，質量穩定，自主研發，售后有保障

產品參數:

1. 真空腔規格: 316不銹鋼腔體,直徑210mm*(深)230mm 約4L
2. 電極：兩個自適應平板電極，材質T6061鋁合金
3. 電極尺寸：120*135mm 間距20~75mm 可調
4. 等離子體發生器：RF射頻發生器，頻率：13.56MHz
5. 功率：0-200W連續可調，精度1W
6. 氣體控制：針式氣體流量閥，標配1路氣體
7. 控制方式：4.3寸工業控制觸摸屏

控制軟件功能：界面顯示實時工作狀態，

可顯示設置值與實際值，便于實時控制。

可自由設置等離子功率，通入氣體時間

全手動控制和全自動控制可選

保護裝置：一鍵急停保護按鈕