1.碳化硅薄膜和緩沖層
2.用于低 k 阻擋層和蝕刻停止層的 SiCO:H 薄膜
3.碳摻雜（拉伸應變）硅
4.碳氮化硅用于硅基光伏電池的鈍化
5.ALD 促進圖案化和種子層
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通過適當選擇碳硅烷前體和沉積條件，碳化硅骨架可以向取代硅和類金剛石結構轉變。
碳硅烷是這樣的化合物，其中硅和碳元素根據以下通用結構以大約 1:1 的比例在分子骨架或聚合物主鏈中交替：
一、碳硅烷化合物
二甲基硅烷：
附加屬性：水解敏感性與堿水溶液發生反應
應用：
通過等離子體 CVD 生成立方碳化硅。
采用三極等離子體 CVD 進行立方碳化硅外延生長。
二烷基硅烷還原劑：
有機硅烷與烴類似，具有充當離子還原劑和自由基還原劑的能力。這些試劑及其反應副產物比許多其他還原劑更安全、更容易處理和處置。硅的金屬性質及其相對于氫的低電負性導致 Si-H 鍵極化，產生氫化氫和與鋁、硼和其他金屬基氫化物相比更溫和的還原劑。硅基還原劑手冊的表總結了一些關鍵的硅烷還原。
揮發性碳硅烷：
碳硅烷是其中硅和碳元素在分子骨架或聚合物主鏈中以大約1:1的比例交替的化合物。通過適當選擇碳硅烷前體和沉積條件，碳化硅骨架可以向取代硅和類金剛石結構轉變。
二、低聚硅烷和聚硅烷
聚二甲基硅烷：
應用：
用于碳氮化硅薄膜的CVD。
在高溫下形成聚碳硅烷。
安全：
氮氣 下包裝
揮發性碳硅烷：
碳硅烷是其中硅和碳元素在分子骨架或聚合物主鏈中以大約1:1的比例交替的化合物。通過適當選擇碳硅烷前體和沉積條件，碳化硅骨架可以向取代硅和類金剛石結構轉變。
揮發性高級硅烷：
揮發性高級硅烷是低溫、高沉積速率的前體。通過適當選擇前體和沉積條件，硅沉積可以從非晶氫化硅轉向微晶硅結構。當硅原子數量增加到超過兩個時，電子能夠進行西格瑪-西格瑪鍵共軛。三個氫原子中的兩個在末端硅原子上的解離吸附具有較低的能壘。
聚（二甲基硅烷）；聚二甲基硅：
1.預陶瓷聚合物
2.在達到熔點 250-270 °C 之前會發生大幅降解
3.DP：25-50
4.在高溫下形成聚碳硅烷
5.用于硅基光伏電池鈍化的揮發性碳氮化硅 (SiCN) 前體的固態源
6.用于碳氮化硅薄膜的CVD
7.在 650 °C 以上的溫度下轉化為碳硅烷
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