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光隙法是指通過用眼睛觀察實際間隙的可見光隙量的多少來進行判斷間隙的一種測量方法。用光隙法測量見光隙范圍是小于0.03mm的間隙。光隙法由于操作方便，且測量準確度較高，在計量檢定、校準和長度測量中應用很廣。

標準光隙是由量塊、樣板直尺和平晶（或 平板）組成。先將量塊研合在平晶工作面上, 首末兩塊量塊的尺寸應相同，其余量塊尺寸根據所需實際間隙選擇，刀口直尺的刀刃和量塊接觸，形成標準光隙，如果被測件的實際間隙處于標準光隙0. 002與 0. 004mm之間，則可斷定被測件的平面度偏差在 0. 003mm左右。光隙法主要應用于以刀口形直尺為標準，檢定（或校準）量具的直線度、平面度；儀器 工作臺的平面度以及直角尺的垂直度等檢定。在車間和計量室廣泛用于利用標準樣板（如 半徑樣板、螺紋樣板）來測量或檢驗工件的形狀誤差。光源和照度直接影響光隙法測量的準確度。光源以平行光最適宜，因此一般用日光燈為宜。光源的亮度必須比觀察者一方強，其照度一般以8001x比較適當。當采用日光燈時，光源與工件的距離為90mm左右。如釆用點光源時，光源應略高于間隙的水平位置，這時，間隙最清晰。如果能采用如圖1 — 5所示的檢定裝置效果更好。

光隙法測量的存在不確定度，影響光隙法測量準確度的因素除光源的形式、照度和距離以外，與接觸面的斷面形狀、寬度、表面粗糙度以及被測件的顏色、底襯有關。另外，當光隙很小時，由于光的干涉和衍射現象，就會產生彩色條紋，會使光隙大小的估計帶來影響。因此，應根據不同的情況進行判斷。經驗對測量結果的影響也很重要。需要不斷地實踐，總結經驗。