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SF6智能微水儀由于SF₆被電弧分解后產生HF，SO₂，SOF₂等有毒氣體，會對金屬件、絕緣件產生腐蝕作用，而水分的存在會加重腐蝕作用。因此，微量水分作為SF₆開關設備出廠和投運前的必試項目，已廣泛地受到重視，對SF₆高壓電氣設備氣體密度和微水含量的監測一直是相關行業對設備監測的一個重要的組成部分。

    為了使對SF₆氣體的監測變得有章可循，有關部門相繼制定了相關標準對SF₆氣體質量、特別是微水含量進行嚴格控制，電力部推薦標準《電力設備預防性試驗規程(DL/T 596-2005)》、國家標準《六氟化硫電氣設備中氣體管理和檢驗導則(GB/T 8905-1996)》。