ICP光譜儀是進行光譜研究和物質結構分析，利用光學色散原理和現代先進電子技術設計的光電子儀器。 用于測定各種物質(可溶于鹽酸、硝酸、氫氟酸等)中常數、微量、微量元素的含量。 其基本作用是測量研究對象光(研究對象物質的反射、吸收、散射、激發的熒光等)的光譜特性，包括波長、強度等光譜特性。
其中，icp發光光譜法是根據處于激發狀態測定對象元素的原子返回基態時放射的特征譜線分析測定對象元素的方法，在分析過程中分析檢測材料的光譜特性(包括波長、強度等光譜特性)，因此可以分為三個工藝：
1、分光(光柵)是將被檢材料按波長有規律地劃分。
2、受光(傳感器)將光信號轉換為電信號，通過相應的測量分析各波長的光的強度。
3、光譜軟件計算顯示：用軟件計算分析這些信息，并向操作員顯示相應的結果。
ICP光譜儀和其他大型精密儀器一樣，需要在特定的操作環境下操作，對環境溫度和濕度有一定的要求。 檢測室內的溫度維持在70到75℃之間，盡量維持在一定的溫度。
除了保持實驗室溫濕度條件外，盡量減少實驗室灰塵對ICP設備的維護也非常重要。 ICP設備室一般沒有防塵過濾設施，另外，由于使用排氣扇排除設備的熱量及其產生的有毒氣體，設備室和外部成為壓力差而產生負壓，室外含有大量塵埃的空氣流入室內，設備的各部分容易蓄積塵埃，高壓部件和配線的短路、漏電等。
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