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Brooks布魯克斯GF100質量流量控制器應用
閱讀：839 發布時間：2022-11-2上海維特銳實業發展有限公司是工廠、物流中心自動化輸送線設計、制造、安裝調試的專業工程公司。公司位于中國經濟中心上海，科研力量雄厚、機械制造業發達。經多年的發展，公司不僅對傳統產品進行不斷完善、革新，精致的零件加工，細節的關注，使我們的產品更安全、經濟、穩定、美觀，更加自動化、人性化。
GF100系列金屬密封熱式質量流量控制器*高純度氣路。超高精確，無污染的控制。
現今許多高級電子元器件的加工工藝都需要能夠對昂貴的超純氣體和液態前體進行相當準確并且具有高度可重現性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產品將穩定性和準確性超高的測量傳感器與快速、精準的控制閥以及功能強大的電子元件相結合共同實現了精準的化學品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設計。
應用
硅材料半導體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、植入和 RTP
化合物半導體器件加工工藝 – MOCVD
精密的表面涂層
分析系統
真空處理應用
適用于對濕度或氧氣敏感的過程
高純度流路可最大限度降低過程污染，提高產率
超快速響應能力
參數
流體類型 氣體
流量范圍-滿量程容量 06 sccm - 300 slpm
精度 SP ±1%
最大壓力 150 psig
溫度 50℃
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