PI N-310 NEXACTOEM小型線性電機/促動器

緊湊，快速，具有長行程，PiezoWalk原理

• 行程為10至125毫米，動輪長度可變
• 緊湊型設計，經濟劃算的設計
• 分辨率達0.03納米
• 力量生成達10牛

PI N-310 NEXACTOEM小型線性電機/促動器

• 行程為10至125毫米，動輪長度可變
• 緊湊型設計，經濟劃算的設計
• 分辨率達0.03納米
• 力量生成達10牛

應用領域

• 工業級精度定位
• 半導體技術
• 半導體測試
• 晶圓檢測
• 平版印刷術
• 納米壓印
• 納米測量
• 強磁場和真空中運動

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學線性編碼器以*的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

采用PiezoWalk步進驅動實現納米精度和大進給力

數個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進驅動中執行步進運動，將動輪向前推進。促動器控制允許以遠低于一納米的分辨率進行小步進和推進運動。

適用于復雜真空應用

PI的壓電電機原則上是真空兼容的，并且適合在強磁場中運行。驅動器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進驅動器還可用于有較強紫外線輻射的無塵室或環境中。