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什么是原子力顯微鏡
原子力顯微鏡利用微懸臂感受和放大懸臂上尖細探針與受測樣品原子之間的作用力，從而達到檢測的目的，具有原子級的分辨率。由于原子力顯微鏡既可以觀察導體，也可以觀察非導體，從而彌補了掃描隧道顯微鏡的不足。原子力顯微鏡（AFM）與掃描隧道顯微鏡（STM）大的差別在于并非利用電子隧穿效應，而是檢測原子之間的接觸，原子鍵合，范德瓦耳斯力或卡西米爾效應等來呈現樣品的表面特性。
1.原子力顯微鏡能夠實現高真空的測試環境，大限度減小樣品表面吸附水對測試的影響，實現的物理特性測量。 真空環境下可以實現更大范圍的溫度控制。
2.設備通過采用『綜合型Holder Flange開合功能』，樣品和掃描器更換更為方便的同時，免去了以往環境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調整。 也省去測試模式切換時的支架更換環節。
3.儀器采用了『Swing Cancel功能』，減輕了樣品的浮動，降低了漂移。提高了納米分析性能，提升了可信度。 漂移量：0.015nm/sec以下。
4.真空環境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響，因而實現高分辨高靈敏的電學性能分析。