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    PDHID氦離子化檢測器在線敏感檢測
    適用于氣體工業(yè)，稀有氣體，半導(dǎo)體氣體的領(lǐng)域進(jìn)行痕量雜質(zhì)分析的自動(dòng)化儀器
    是生產(chǎn)線質(zhì)量控制和*的檢測儀器
    可任意配選，以適用于多種應(yīng)用場合
    根據(jù)用戶需要可提供所需的數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)輸出的方式
    采用了*的Valco閥、管路系統(tǒng)和檢測器

 
可選件

    用戶自選的數(shù)字或模擬輸出
    按照用戶需要，提供進(jìn)樣系統(tǒng)和校準(zhǔn)系統(tǒng)
    擴(kuò)展應(yīng)用所需部件
    電子流量測量和認(rèn)證
    痕量濕度檢測
    集成的架裝組件
    特殊合金結(jié)構(gòu)或者Sulfinert® 或Silcosteel®鈍化系統(tǒng)
    用戶自定義的報(bào)警系統(tǒng)
    自動(dòng)標(biāo)定和認(rèn)證校準(zhǔn)
    遙控附件

 

儀器的報(bào)價(jià)中含有終身的。包括了對應(yīng)用適應(yīng)性的確認(rèn)，文件，現(xiàn)場安裝和培訓(xùn)。一旦儀器安裝完畢，就可以方便地通過和遙控信息的的。
VICI 的TGA痕量氣體分析器是一種即裝即用的在線分析儀表，硬件軟件齊全，可立即用于分析ppb級各種痕量氣體雜質(zhì)。每臺(tái)儀器都可以按照用戶的具體技術(shù)要求，用標(biāo)準(zhǔn)的VICI部件配以分析方法，操作條件和程序文件，組成用戶所需要的全套儀器。
所有的VICI TGS的標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用方式是檢測氦中的雜質(zhì)，同時(shí)也可以組合成檢測單元和多元?dú)怏w中的雜質(zhì)。取樣系統(tǒng)和工業(yè)級CPU可以裝入儀表架，也可以自成獨(dú)立系統(tǒng)（如圖）。標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)置包括通過OPCserver軟件和自動(dòng)日常維護(hù)程序的數(shù)據(jù)共享。
 
定型產(chǎn)品
可以選擇下列配置完整的定型產(chǎn)品

    測量氫氣中的PPB級含硫氣體
    測量CO2中PPB級含硫氣體
    測量常用氣（He, H2, Ar, O2, N2, CH4, C2H6, NH3, CO2, CO）中的雜質(zhì)
    測量稀有氣體（He, Ne, Kr, Xe, Rn）中的雜質(zhì)
    測量半導(dǎo)體氣體H2, SiH4, SiF4, HBr, CF4, CCl4, NF3, C2F6, C3F8, N2O, C2H2, C2H6, C3H4, PH3, AsH3, SF6, NH3 中的雜質(zhì)