化工石化行業中煙囪、火炬系統中，對于其中的H2S等污染物痕量組分進行監測分析可能會導致閥門、管件、管道和樣品鋼瓶的腐蝕。腐蝕不僅影響設備的使用壽命，還會造成管路吸附，損失待分析物并形成微粒給后續工作造成干擾。
腐蝕還會損壞煙囪和火炬CEMS系統的感應儀器或探頭，導致停機和大量后期維護，高反應性的表面還會導致測試失敗或得到失真的測試結果。
SilcoTek采用化學氣相沉積(CVD)的工藝，在不銹鋼、合金過濾器表面涂覆惰性涂層。CVD涂層的優點是該工藝允許涂層蒸汽穿透難以到達的區域，如過濾介質，并覆蓋整個管道的內表面，因為沉積層很薄，被涂覆的零件不會被涂層堵塞或限制。
SilcoTek產品系列Dursan和Silcolloy都被證明可以有效提高過濾器的耐腐蝕性。涂有Dursan涂層的管道將顯著延長分析系統組件的壽命，Dursan也是一種耐酸堿腐蝕的高耐久性涂層。酸性對比試驗數據表明，Dursan涂層的引入大大降低了腐蝕速率，耐蝕性提高了幾個數量級。
Silcolloy是一種多層非晶硅沉積物，在防止酸腐蝕和提供純硅屏障涂層方面非常有效，減少金屬過濾基材和流經過濾器的腐蝕性介質之間的相互作用，這提高了產品質量，同時降低了更換過濾器的成本。
這兩種涂層都能經受溫度的考驗，在高溫環境下同樣可以作到不失效，在煙囪和火炬監測中的高溫環境下，避免材料腐蝕，提高設備使用壽命，獲得更好結果。
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