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易威奇IWAKI全氟材質(zhì)半導(dǎo)體氣動泵

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 CFD 系列
  • 品牌 IWAKI/日本易威奇
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 上海市
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更新時(shí)間:2019-11-14 10:03:00瀏覽次數(shù):301

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應(yīng)用領(lǐng)域 石油,電子/電池,鋼鐵/金屬,電氣,綜合
易威奇IWAKI全氟材質(zhì)半導(dǎo)體氣動泵
CFD 系列全氟材質(zhì)、高精度、分辨率高達(dá)1.0mL/shot、精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

易威奇IWAKI全氟材質(zhì)半導(dǎo)體氣動泵

CFD 系列
全氟材質(zhì)、高精度、分辨率高達(dá)1.0mL/shot、
精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)

高分辨率

      小流量達(dá)1mL/shot,為晶圓清洗過程中所需的化學(xué)凝結(jié)控制,提供更高的準(zhǔn)確性。CFD系列能提供準(zhǔn)確流量,防止過量添加或液體浪費(fèi)。此外,防虹吸設(shè)計(jì)防止意外吸入。

 

耐腐蝕過流端

       氟材質(zhì)口過流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能夠處理半導(dǎo)體加工所用的強(qiáng)酸、強(qiáng)堿和雙氧水。針對化學(xué)腐蝕,PTFE / PFA / PP / PVC材質(zhì)外部零件和PTFE涂層螺絲能提供額外的保護(hù)。

 

寬廣的吐出率調(diào)節(jié)

       打開底蓋可輕松在1.0-2.7ml/shot之間調(diào)節(jié)沖程長度 (出廠默認(rèn)設(shè)定是1.0ml/shot)。

 

配備泄漏傳感器

每臺泵都配有泄漏傳感器,可實(shí)時(shí)檢測任何泄漏情況。

規(guī)格

大吐出量

1 mL/shot

大吐出壓力

0.05 MPa

大沖程率

30 spm

主要材質(zhì)

PTFE, PFA, PCTFE

液體輸送溫度范圍

20 ~ 60 °C

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