半導體參數測試系統是一款配置靈活的半導體器件電學特性分析設備，在一個系統中實現了電流電壓 (IV) 測試、電容電壓 (CV) 測試、脈沖式IV測試、任意線性波形發生與測量、高速時域信號釆集以及低頻噪聲測試能力。幾乎所有半導體器件的低頻特性表征都可以在FS-Pro測試系統中完成。
產品應用：
新型材料與器件測試
半導體器件可靠性測試
半導體器件超短脈沖測試
半導體器件無損探傷與測試
光電器件和微電子機械系統測試
半導體器件超低頻噪聲領域測試
產品優勢：
一體化設備：
單機可采集高精度IV、CV、脈沖IV和瞬態IV采樣及1/f噪聲測試所有參數。
無需切換電纜或探頭連接即可提供完整的低頻參數提取功能。
寬電壓電流輸出范圍、高精度：
支持高速采樣時域信號采集和任意線性波形生成模塊化架構。
支持靈活、可擴展的測試配置。
簡單易用：
內置專業LabExpress軟件，用戶界面友好。
測量、分析功能強大。
無需復雜編程步驟即可同步產生電壓并跟蹤波形。
可用作9812DX內部SMU模塊：
無縫集成9812D/DX系統及其NoiseProPlus軟件，可提高噪聲測試速度。
