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單溫區PE-CVD系統高性能射頻電源.等離子體更穩定；滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區.并可實現快速升溫和降溫功能；
與傳統CVD相比較.生長溫度更低
產品簡介
詳細介紹
單溫區PE-CVD系統
產品特點：
單溫區PE-CVD系統采用高性能射頻電源，等離子體更穩定；
滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區；
可實現快速升溫和降溫功能；與傳統CVD相比較，生長溫度更低。
技術參數
型號：TFE - 1200 - 50 - 220
設計溫度：1150℃（短期）
額定溫度：1100℃
推薦升溫速率：≤10℃/min
控制精度：±1℃
爐管尺寸：Φ30/50/60*1200mm
爐膛尺寸：Φ80*220mm
加熱區長度：220mm
恒溫區長度：80mm
加熱元件：優質國產電阻絲
額定功率：3KW
供氣系統：
①三路高精度MFC
②量程0-500sccm（可定制）
射頻電源：
①射頻功率：5-500W；
②射頻頻率：13.56MHz；
③匹配方式：自動匹配
真空系統：雙級旋片真空泵（可定制擴散泵 分子泵等）
外形尺寸：1250*510*810mm
