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分體式勻膠機技術文章

SC100-SR精密勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。
　　SC100-SR是一種主機和觸摸屏分開的分體式勻膠機，主機被設計為更小安裝尺寸或臺面嵌入式安裝來降低操作高度。SC100-SR可與手套箱配套進行嵌入式安裝，控制盒放置在臺面上方便移動。

主要性能指標：
主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔） 
旋涂程序：可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒 
轉動速度：0-10,000rpm（更高速可選） 
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載） 
馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm 
轉速調節精度<1rpm，重復性< 1rpm 
工藝時間設定： 0-3,000 sec/step，時間設置精度：0.1sec 
支持wafer尺寸1cm-200mm（8"圓晶） 
旋涂作業均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）
產品特性優點：
新的內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。 
可進行嵌入式安裝，降低操作高度。 

7"觸屏控制面板操作系統，更方便操作。 
Telon ®/polyethylene “密閉碗"設計可適合各種材料勻膠工藝。 
標準配置轉速10000rpm，并可根據用戶需要進行定制。 
采用工業級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。 
機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，不生銹，便于清洗。 
排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 （以利于排風效率和勻膠均一性）。 
透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。