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產品特點：
3D光學輪廓顯微鏡特點：
一款*的3D光學測量儀
整合了微型三坐標測量系統和表面粗糙度測量系統的功能。
LED環形燈的設計，使表面測量的范圍幾乎不受限制。
高分辨，高可重復性和可溯源
即使對于復雜樣品表面，仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率
高測量速度
測量速度可以達到170萬點/秒。
模塊化和可擴展性
新的功能可以很容易通過擴展測量模式整合
全自動
測量簡單且自動化程度高，如自動更換物鏡等
3D光學輪廓顯微鏡S neox的主要技術參數：
位移范圍（X軸、Y軸、Z軸）：100mm×100mm×100mm
樣品表面結構：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2µm，取決于表面結構
樣品高度：100mm ～ 345mm
樣品重量：30kg。
水平分辨率：0.44µm
垂直分辨率：10nm
掃描高度：22.5mm
擴展視野范圍：10000mm2
單一方向掃描范圍：100mm
測量速度:170萬個測量點/秒
小測量高度：0.01µm
測量高度：22.5mm
測量范圍：10000mm2
測量形貌長度：100mm
小可重復性：0.001µm
小測量粗糙度（Ra）：0.03µm
小測量粗糙度（Sa）：0.015µm
小測量半徑：1µm
小測量垂直角度：20°
大測量傾斜角度：87°
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