特種氣體興起于20 世紀(jì)60 年代中期，為基礎(chǔ)化工材料，主要應(yīng)用于大型石油化工、半導(dǎo)體器件、光導(dǎo)纖維、激光、醫(yī)學(xué)科學(xué)、臨床診斯、醫(yī)藥消毒、水果催熟、食品保鮮等領(lǐng)域。隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展，其應(yīng)用范圈也越來越廣泛。目前在特種氣體分析檢測(cè)中的色譜分析法主要有DID(氦離子先按測(cè)器）、常規(guī)氣相色譜。

    DID 色譜分析儀，核心部件為放電離子化檢測(cè)器， DID 檢測(cè)器的主體由電離室和放電室組成，之間有狹窄通道，放電區(qū)域內(nèi)電極兩端施以適量高壓后，可以得到一束高能量的紫外光輻射（ 400-500nm)，紫外光在電離室內(nèi)使氦原子被激化，被激化的氮原子與電子碰撞產(chǎn)生氦離子，即通常所說的亞穩(wěn)態(tài)，被激化的氦及被離子化的氦在電極前形成放電電流。分析物的檢測(cè)發(fā)生在下室即放電室，亦稱為離子化室。被激化的氦原子具有很高的能量，通過上下室之間狹小的開口進(jìn)入下室，并與來自色譜柱的載氣及已分離的雜質(zhì)分子發(fā)生非彈性碰撞使各種雜質(zhì)分子電離。此時(shí)在集電極上加以適當(dāng)電應(yīng)收集被電離的雜質(zhì)分子，可以得到濃度成正比的電流信號(hào)。亞穩(wěn)態(tài)的高能氦原子具有較高能量，可使包括Ne 在內(nèi)的很多物質(zhì)分子電離，因而DID 是一種通用型檢測(cè)器，物質(zhì)在DID 的響應(yīng)因子與其電離時(shí)的能有關(guān)。除對(duì)載氣He 氣外，對(duì)很多氣體都有反應(yīng)，靈敏度可達(dá)10-9級(jí)，線性范圍寬，檢測(cè)范圍可從10-9~2% ，尤其是各種痕量分析。