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XRF是一種確定各種材料化學組成的一種分析方法。被測材料可以是固體、液體、粉末或其它形式。XRF還可測定鍍層和薄膜的厚度及成分。XRF具有分析速度快、度高、不破壞樣品及樣品前處理簡單等特點。應用范圍廣泛，涉及金屬、水泥、油品、聚合物、塑料、食品以及礦物、地質和環境等領域，在醫藥研究方面，XRF也是一種非常有用的分析方法。
作為精密元素分析儀器之一，XRF分析儀在分析元素時，經常會出現同一個樣品檢測的精度不一樣的現象，多數操作者多一位是儀器出現故障。其實不然，那么XRF這款精度儀器在使用過程中，會受到那些因素的影響而導致結果出現偏差。
一、時間
一般來說，檢測的時間越長，精度就越，ROHS分析儀30~600秒；合金分析儀10~60秒；礦石分析儀：30~90秒，
二、均質
樣品一定要均勻，盡量不要出現凹凸不平，凹凸的樣品很容易出現偏差。樣品很好額平面放在某處，
三、材質
不同的物質結果不一致，那是肯定的就算同是合金材料也分鐵、鋁、鎂等不同元素組成。
四、粒度
被檢測的樣品越小越好，樣品大小和儀器的顯示屏差距不大是很好，如果檢測樣品過于龐大，比較容易出現樣品元素組成不一樣，導致元素的含量與成分結果就不一樣。
五、厚度
XRF分析儀，有個很明顯的特點，就是對樣品的厚度有一定限制，特別是很多合金樣品可能會在材料商涂層銅、金屬、塑膠，這個時候檢測材質需要對樣品的表層進行處理，才能檢測結果的。
