產品簡介：
使用超聲波噴霧熱解技術可以制造均勻的銦錫氧化物（ITO），鋁摻雜的氧化鋅（AZO），氧化鋅（ZnO）和氟摻雜的氧化物層薄膜。這種*的工藝需要專門的涂層設備來制造必要的涂層厚度和形態，并還可以在高溫環境下噴涂腐蝕性溶液。
在高溫超聲波噴霧熱解過程中，將諸如ZnO的前體溶液噴霧到加熱至約300-500攝氏度的基材上。溶劑在運輸過程中蒸發，并且ZnO結晶膜在通常為鈉鈣或其他玻璃的基底表面上形成。基材溫度通常決定了薄膜的形貌特征。
超聲波噴霧沉積提供了一種成本效益高的替代方法，可替代真空沉積法和濺射法，傳輸效率更高。超聲波霧化噴嘴產生的液滴高度均勻，可以實現最佳尺寸的液滴進行熱解反應，并且所有液滴在沉積過程中將以相同的方式同時發生反應。這樣就可以在研發或大批量生產中實現高效的TCO生產過程。
霧化原理：
是通過壓電換能器將高頻聲波轉換成機械能，再將機械能轉換成液體，這種縱向向上和向下的振動在超聲波噴嘴堅端的應用液體薄膜中產生駐波，在那里這些波的振幅可以由功率發生器控制。這些靜止的液體波可以從超聲噴嘴的頂端向上延伸，當液滴離開噴嘴的霧化表面時，被分解成均勻的微米級甚至納米級液滴的細霧。
設備組成：
整機由超聲波霧化噴嘴，專用驅動電源，XYZ三軸聯動伺服系統，智能化操作系統，液體供給系統，低速空氣整形裝置，外殼箱體等組成。
霧化噴嘴：
使用鈦合金超聲波噴嘴克服了噴涂高腐蝕性酸的工藝難題，該噴嘴采用耐腐蝕的鈦合金材料制成，即使噴涂高腐蝕性的鹽酸或氫氟酸溶液，也不會堵塞，可重復，使用壽命長，并提供*的聲學性能。我們提供類型有：長嘴型--寬噴型--探入型--散射型--聚攏型--線噴型等六種超聲波霧化噴嘴。
產品優勢：
與CVD（化學氣相沉積）工藝相比，超聲波噴霧熱解簡單，靈活且具有成本效益。
久經考驗的TCO涂層專業知識。
超聲波噴嘴比其他噴涂方法沉積更均勻的涂層。
易于調整和可重復的涂層參數。
*集成的轉利超聲噴嘴技術和液體輸送技術，提供了完整的涂層解決方案。
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