馬赫-曾德干涉儀由于不帶有纖端反射鏡，需要增加一個3dB分路器。光源發出的相干光經3dB分路器分為光強1：1的兩束光分別進入信號臂光纖和參考臂光纖，兩束光經第二個3dB分路器匯合相干形成干涉條紋。M—Z干涉儀的優點是不帶纖端反射鏡，克服了邁克耳遜干涉儀回波干擾的缺點，因而在光纖傳感技術領域得到了比邁克耳遜干涉儀更為廣泛的應用。
使用馬赫-曾德干涉儀的注意事項：
1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。
2、在移動儀器時，為防止導軌變形，應托住底座再進行移動。
3、儀器的光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發霉。
4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。
5、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。
6、在使用時應避免強旋、硬扳等情況，合理恰當的調整部件。
7、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿，保持其不失油。
馬赫—曾德干涉儀的日常維護：
1、儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內，防止振動，儀器搬動時，應托住底座，以防導軌變形。
2、光學零件不用時，應存放在清潔的干燥盆內，以防止發霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精混合液輕拭。
3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應用T5精密儀表油潤滑。
4、使用時，各調整部位用力要適當，不要強旋、硬扳。
5、導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態。
6、經過精密調整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉動。
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