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一文看懂實(shí)驗(yàn)室高純鍺γ能譜儀操作規(guī)程
閱讀：2708 發(fā)布時(shí)間：2021-10-22
實(shí)驗(yàn)室高純鍺γ能譜儀是一種分析物質(zhì)元素的儀器，常與掃描電鏡或者透射電鏡聯(lián)用，在真空室下用電子束轟擊樣品表面，激發(fā)物質(zhì)發(fā)射出特征x射線，根據(jù)特征x射線的波長(zhǎng)，定性與半定量分析元素周期表中B-U的元素，EDS可提供樣品表面之微區(qū)定性或半定量之成份元素分析，以及特定區(qū)域之point、line scan、mapping分析。
實(shí)驗(yàn)室高純鍺γ能譜儀操作規(guī)程：
一、開(kāi)機(jī)順序（嚴(yán)格要求先后順序）
1、打開(kāi)掃描電鏡“儀器”開(kāi)關(guān)
2、打開(kāi)掃描電鏡“工作站”開(kāi)關(guān)
3、打開(kāi)掃描電鏡“軟件”抽真空，開(kāi)燈絲4、打開(kāi)能譜“探測(cè)器”開(kāi)關(guān)
5、打開(kāi)能譜“工作站”
6、打開(kāi)能譜“軟件”
7、從能譜軟件中打開(kāi)“制冷(Cooling )”，制冷進(jìn)入正常狀態(tài)（綠燈亮），10分鐘后才能進(jìn)行能譜測(cè)量。
二、能譜使用注意事項(xiàng)
1、工件工作距離10mm
2、能譜測(cè)量時(shí)，要求關(guān)閉掃描電鏡的CCD
3、工件加電壓20kv
4、掃描電鏡的spot設(shè)置的大，能譜的CPS（輸入計(jì)數(shù)率）高
5、樣品越平越好
6、開(kāi)關(guān)樣品門(mén)要輕，探測(cè)器窗口薄，怕震動(dòng)7、樣品固定，不要有顆粒，顆粒吸附在探測(cè)器窗口，長(zhǎng)期會(huì)使探測(cè)器損壞
8、不要清潔探測(cè)器，不可使用吹氣球吹探測(cè)器窗口
9、工作站防毒，不可使用U盤(pán)拷貝數(shù)據(jù)
三、關(guān)機(jī)順序（嚴(yán)格要求先后順序）
1、從能譜軟件中關(guān)閉“制冷”
2、關(guān)閉能譜“軟件”
3、關(guān)閉能譜“工作站”(若需傳輸數(shù)據(jù)，可不關(guān))
4、關(guān)閉能譜“探測(cè)器”開(kāi)關(guān)(不使用能譜儀時(shí)需關(guān)閉)
5、關(guān)閉掃描電鏡“軟件”
6、關(guān)閉掃描電鏡“工作站”開(kāi)關(guān)
7、關(guān)閉掃描電鏡“儀器”
四、其他注意事項(xiàng)
1、能譜工作站用戶(hù)名密碼
能譜工作站，最好使用Administrator登陸，密碼apollo。其他賬戶(hù)登陸可能存在問(wèn)題，最好不使用。
2、EDS工作站如果需要切換賬戶(hù)，需先將Cooling off(變紅)、TEAM軟件關(guān)閉后再切換賬戶(hù)，以免探測(cè)器IP無(wú)法釋放，導(dǎo)致故障。
3、能譜儀使用完畢需將電源關(guān)閉(綠燈滅)。
4、以后使用能譜儀需在掃描電鏡紙板登記中備注！！！以便實(shí)驗(yàn)室登記管理。