掃描電鏡全稱掃描電子顯微鏡，簡稱SEM，是一種超高速、高分辨、全自動、快速成像、場發射電子顯微分析設備，是根據電子光學原理，用聚焦很細的電子束照射到要檢測的樣品表面，電子束與樣品相互作用產生各種信息，使物質的細微結構在非常高的放大倍數下成像的儀器。
SEM加熱樣品臺可用于電鏡樣品在不同的高溫條件下的結構表征。具體功能如下：
1、采用四電極反饋控制系統對加熱區域的樣品進行精準均勻、安全控溫；
2、高精度、高頻反饋控溫模式，具有實時溫度控制及精確測量功能，內置絕對溫標，并可軟件自動標定，對任一芯片的每次升溫過程進行自動校正和模擬出*優的升 溫曲線，而非統計學的擬合曲線加熱，能更好地反映熱場實情并可自定義程序升 溫曲線，設置升溫速度，確保每片芯片每次測量溫度的精確性，不受使用次數的 影響而降低，保證高溫實驗的重復性及可靠性；
3、超薄氮化硅膜(10 nm，25 nm，50 nm)，不會影響電子信號采集；
4、觀測區域全覆蓋；
5、升溫快、溫度場穩定且均勻，升溫過程樣品幾乎無漂移；
6、SEM加熱樣品臺的加熱芯片溫度范圍RT~1300℃，以及準確的控溫技術可滿足大多數科學研究的需求。
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