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全歐光學WaveMaster波前測量儀用于球面透鏡，非球面透鏡和光學系統的波前測量，集成了準直系統，擴束或縮束系統，高精度樣品臺，多種光源和WaveSensor波前傳感器。此傳感器采用夏克-哈特曼傳感器原理，用于平面、球面、非球面面型的檢測，光學系統像差檢測，輸出激光光束質量檢測，光束動態變化檢測，自適應系統波前的探測，并有針對大口徑光學和人工晶體波前檢測的解決方案。WaveMaster波前測量儀主要用來測量大型雙遠心鏡頭的全場波前，還可給出被測樣品的面型（PV和RMS），澤尼克系數（Zernike），點擴散函數（PSF），調制傳遞函數，斯特列爾比，楔角。同時，該產品也可用于人工晶體在空氣中或原位中的檢測，晶體低階和高階的相差，晶體的調制傳遞函數（MTF），晶體的點擴散函數（PSF），晶體屈光度和像差。軟件具有多種模塊功能，簡單易用，用戶可根據需要進行選擇。

WaveMaster® PRO系列產品是為了適應波前質量的大批量檢測的需求而研發的兩款儀器，可自行設置合格標準，并根據該標準自動判定合格和不合格。WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 reflex配備托盤系統，實現對單個小鏡片的大批量檢測。WaveMaster® PRO Wafer則可以對晶圓級鏡頭的波前進行快速檢測。

應用范圍：

• 生產線上的大批量鏡頭波前和表面面形的檢測

• 晶圓級鏡頭的波前檢測