微量氧分析儀使用的范圍非常廣泛：鋼鐵、冶金、熱電、石化、化工、焦化、PVC、多晶硅、合成氨等行業均能使用到，如空分制氧、空分制氮、化工流程氧含量自動分析、電子行業保護性氣體中氧含量分析（氮氣中微量氧分析），磁性材料等高溫燒結爐的保護性氣體中氧含量分析、玻璃、建材行業中氧含量分析及各種行業中氧含量分析。
微量氧分析儀是一種精密的氣體分析儀表，不同行業實際使用過程中，工況差距非常大。不同工況也對測量結果有著一定的影響，使用過程中需要注意以下的事項，來避免因工況和認為使用原因導致的測量結果不準確。
一、分析儀取樣管路的密閉性：
在實際測量中，樣氣壓力一般都為正壓，但樣氣中的氧是微量級的，根據法拉利定律，氧的分壓與其體積含量成正比，環境空氣中氧含量約21%，與以PPM計算濃度的樣氣的氧分壓相差一萬倍左右，因而氣樣中微量氧的分壓遠低于大氣中的氧分壓，當出現泄漏時，大氣中的氧便會從泄漏部位迅速擴散進來。
微量氧分析儀檢測的就是ppm級別的氧含量，因此配套管線必須嚴格密封，非常微小的管線泄漏（管線連接點、接頭等）都會導致環境空氣中的氧擴散進來，造成實際測量數值偏高。
其次，盡量減少管線長度和管線接頭數量，且同時保證接頭及閥門氣密性良好，管線連接完畢后，應做氣密性檢查。氣密性檢查的要求：0.25MPAm測試壓力下，30分鐘，壓降不大于0.01MPA。
最后就是使用前執行檢漏，初次啟用前必須嚴格檢漏。儀器只有在嚴密不漏的前提下才能獲得準確的數據結果。
二、微量氧分析儀取樣管材質的選擇
管線材質以銅管或不銹鋼管為佳，管線內壁要求光滑，次選聚四氟乙烯管。切勿使用橡膠管、乳膠管等管線，這些材質的管線氣密性和抗滲透性比不銹鋼管差，在微量氧測量的標準下會導致誤差較大。
管線一般選用6mm或1/4IN或者選用3mm或1/8IN，總之，先選不銹鋼管或銅管，保證內壁光滑潔凈。總之對于微量級（1PPMV）氧分析，先選內壁拋光的不銹鋼管銅管。
三、取樣分析的時候考慮溫度的因素
即使在常溫下也由可能出現凝露，特別是在大氣壓驟降時，極有可能出現溫度降低而出現冷凝現象，因氧溶于水的性質，出現凝露時也會影響測量精度。
因此為防止樣氣中的凝露，造成對微量氧的溶解吸收，應根據現場工況情況對取樣管線采取絕熱保溫或伴熱保溫措施。檢測液氮中的微量氧時，尤其要注意加溫措施，不然，由于氧沸點低于氮沸點13度，樣品氣不均勻氣化，會使測量值嚴重偏低。
四、取樣點離分析儀的距離越近越好
微量氧分析儀的測量位應盡可能與測量點接近，以避免過長的管線和過多的不確定因素，影響測量數據的可靠性。
五、樣氣取樣過程要充分潔凈
在使用儀器時，首先要進行吹掃，建議使用高純氮氣進行吹掃。切勿使用高氧含量較高的氣體進行吹掃，微量氧分析儀的傳感器和檢測常量氧、高純氧的傳感器不同，氧含量過高會降低微量氧分析儀傳感器的壽命。
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