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六軸力傳感器分類
電容式則是將電容式力敏傳感器的核心部分是對壓力敏感的電容器。
力敏電容器的電容量是由電面積和兩個電間的距離決定的，當(dāng)硅膜片兩邊存在壓力差時，硅膜片產(chǎn)生形變，板間的間距發(fā)生變化，從而引起電容量的變化，電容變化量與壓力差有關(guān)。 光學(xué)式多維力傳感器通過光學(xué)傳感器來測量微小變形，從而測出多維力和力矩。
六軸力傳感器分類
壓電式多維力傳感器是另一種比較常用的測力裝置，它的基本測力原理是在外部應(yīng)力的作用下壓電材料產(chǎn)生電荷，當(dāng)外力變化時，壓電材料表面的電荷隨之變化帶來輸出電壓信號的變化。 六軸力傳感器分類 壓電傳感器的主要特點(diǎn)是其有很高的固有頻率 ( 20OkHz ) ，特別適合動態(tài)測量。石英晶片的合理布置是傳感器設(shè)計的關(guān)鍵。克服傳感器各向載荷間的相互干擾是提高壓電傳感器測量精度的途徑。
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