島津等離子體光譜儀屬于精密光學儀器，對環境的溫度有一定的要求，如果溫度變化太大，光學元件受溫度變化的影響就會產生譜線漂移，儀器尋峰不準，尤其是單道掃描型的儀器，甚至有時候會找不到峰。測量標準和樣品時的溫差大的話會造成測定數據不穩定，一般室溫要求維持在20～25攝氏度間的一個固定溫度，溫度變化應小于±3/小時即可。一般空調就能達到，這也要求放置儀器的房間要適中。
島津等離子體光譜儀的保養：
（1）氣體控制系統：ICP的氣體控制系統是否穩定正常地運行，直接影響到儀器測定數據的好壞，如果氣路中有水珠或其它固體雜質等都會造成氣流不穩定，因此，對氣體控制系統要經常進行檢查和維護。首先要做氣體密封試驗，開啟氣瓶及減壓閥，使氣體壓力指示在額定值上，然后關閉氣瓶，觀察減壓閥上的壓力表指針，應在幾個小時內沒有下降或下降很少，否則說明氣路中有漏氣現象，需要檢查和排除；
(2)使用環境：島津等離子體光譜儀與其它大型精密儀器一樣，需要在一定的環境條件下運行，否則，不僅影響儀器的性能，甚至造成損壞，縮短壽命等。根據光學儀器的特點，對環境溫度和濕度有一定要求。如果溫度變化太大，光學組件受溫度變化的影響就會產生譜線漂移，造成測定數據不穩定；而如果環境濕度過大，儀器的光學部件，特別是光柵容易受潮損壞或性能降低；
（3）每月用超聲波清洗霧化室、炬管、樣品噴射管；
（4）每四個月更換光譜儀上的風扇過濾網；
（5）測試有機樣品后用軟布清潔炬室，防止有機成分沉積；
（6）進樣管、蠕動泵管、廢液管、墊圈等消耗品根據使用情況及時更換；
（7）日常維護條款對儀器做全面保養。
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