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勻膠機
勻膠機 型號：AC200-SE
此款勻膠機共有兩種型號：AC200-SE是標準型號，AC200-PE是型號；AC200精密勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，這是一種程控伺服型精密勻膠機，可以實現價值百萬美元設備上才能達到的穩定性和均勻性。這款設備采用了不銹鋼外殼，更加耐久和美觀；采用了工業級別的200W的伺服電機系統和與track設備相同的設計和程序，使工藝更具有實際應用意義；AC200在同類產品中**的較先達到5000RPM/s的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩定性和高的可重復性。
主要性能指標
1：主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）
2：內腔采用易清潔、耐腐蝕的高分子材料（HDPE）
3：旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個步驟可到0.1秒
4：旋涂速度：0-10000rpm
5：旋涂加速度：0-50000rpm/s
6：馬達旋涂轉速穩定性能誤差：＜±1rpm（TN-AC200-SE)；＜±0.1rpm（TN-AC200-PE)
7：轉速調節精度及重復性：1rpm（TN-AC200-SE);0.1rpm（TN-AC200-PE)
8：AC200-PE另帶真空數字顯示、開關壓力調節和電子水平顯示功能
9：工藝時間設定：0-3000sec/step，時間設置精度：0.1sec
10：支持wafer尺寸：碎片至200mm（8''圓晶）
11：旋涂作業均勻性：＜±3%在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米測量）
產品特性優點
1：**的內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸
2: 采用7英寸觸摸屏控制面板，操作更加便捷
3：采用“密閉碗”設計，可以適應各種材料的勻膠工藝。
4：標準配置的轉速為10000rpm，可以根據用戶需要進行定制
5：采用工業級的伺服電機，電機*的設計可以避免光刻膠等污染物進入電機內部
6：機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，生銹，便于清洗。
7：排風和抽氣系統位于載片臺的底部，利于排風效率和勻膠的均一性
8：透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時*隔光阻的溢出及有效隔有毒氣味的散發。