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技術文章

CKD工藝氣體用減壓閥PGM系列性能介紹可作為選型依據

閱讀:842          發布時間:2023-2-13

CKD的工藝氣體減壓閥擁有專業密封性能、滯后性和重復性。


品特點


使用示例

高耐腐蝕?高品質材料

優化設計

高密封性

高微小流量控制性

減少遲滯

豐富的產品陣容

使用示例


蝕刻、成膜裝置中工藝氣體的高精度控制

壓力控制·減壓

image.png


壓力穩定化

image.png




● 采用高耐腐蝕材料

● 實施電解研磨、超精密加工、超精密清洗


image.png.

02 優化設計




●盡量減少滑動部

● 膜片結構的優化

● 優化材質,實現平穩動作



03 高密封性




有助于工藝穩定化

● 閥座部的優化設計和超精密加工

● 最大限度抑制閥閉動作時的2次側泄漏(流出)


image.png

04 高微小流量控制性




實現穩定且平穩的動作

● 閥座部形狀的優化設計

● 微小流量下也可穩定控制


image.png

05 減少遲滯




安全滿足目標壓力。

● 采用高品質材料

● 超精密加工


image.png

06 豐富的產品陣容

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