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TMC主動空氣消振器Electro-Damp II
Electro-Damp®是第一款專門用于提高半導體制造應用中的吞吐量、分辨率和產量的商用主動隔振系統。Electro-Damp II是對原始系統的*全重新設計，增加了模塊化、數字控制、前饋、高力/高間隙執行器以及多個專門設計用于OEM應用（如顯微光刻、檢測和計量工具）的數字用戶界面。
半導體制造工具對其隔振系統提出了相互矛盾的要求。為了應對地面噪音，系統必須足夠柔軟，以有效地過濾地面振動，阻止其到達隔振表面。同時，系統必須足夠堅硬，以應對工作臺的力，以便工作臺運動使隔振表面產生最小位移并能快速穩定。
除了采用慣性、主動反饋阻尼之外，Electro-Damp II還使用信息前饋來進一步改善系統響應。前饋從工作臺控制器獲取關于工作臺位置和加速度的信息，然后處理這些數據，以向有效載荷提供力驅動，從而大大減少了由工作臺引起的有效載荷運動。系統可以以數字方式讀取前饋信息，作為雙極性模擬信號，或通過讀取正交編碼器的輸出。DC-2000數字控制器還可以使用工作臺測試模式自動調整前饋所需的參數。這使得在初始安裝時或在更改有效載荷之后能夠快速簡便地進行設置。
Electro-Damp II的模塊化設計允許系統單獨與電子伺服閥一起使用（適用于重型、低加速度應用，如CMM）、只與電磁驅動一起使用（適用于使用高加速度的較輕工作臺）或與兩者結合使用（適用于*苛刻的應用）。
TMC主動空氣消振器Electro-Damp II特點
●六自由度主動減振系統
●非接觸式電子高度控制
●數字控制器
●前饋輸入校正由工作臺引起的有效載荷運動
●高力電磁執行器可單獨提供或被集成在系統中
●減少有效載荷運動和由工作臺引起的運動的穩定時間
●提高吞吐量、分辨率和產量
●模塊化設計允許用戶*定一個完整的單元或組件，以便OEM集成
●自動調整前饋參數以減少設置
規格
通用 | |
穩定時間 | 0.2秒** |
主動自由度 | 6 |
高度控制精度 | < 10 µm at sensorsd> |
線性執行器（水平和垂直） | |
直流電阻 | 5 Ω |
力常數 | 高達12磅/安 | 55牛/安 |
最大連續力 | 25磅| 110牛 |
峰值力@ 7 A | 87磅| 385牛 |
電氣時間常數 | 2.6毫秒 |
行程 | 0.25英寸 | 6.4毫米 |
橫向間隙 | 0.09英寸 | 2.3毫米 |
雜散場 | < 1 G @ 2 in.d> |
尺寸（寬 x 深 x 高） | 2.8 x 6.8 x 4.5英寸 |
閥門（僅限主動） | |
閥門類型 | 比例E/V伺服 |
控制類型 | 壓力或氣流 |
最大流量 | 1.5 SCFM |
耗氣量（4個隔振器） | < 2 SCFM (no stage motion)d> |
- 3 dB響應 | ≤10 Hz（典型值）。 |
高度控制傳感器 | |
輸入 | 非接觸式感應（渦流） |
電子配置 | 雙線式NAMUR |
范圍 | 標稱15毫米，用于30毫米電線 |
分辨率 | < 1 µmd> |
被動氣動安裝座 | |
標準承重能力 | 1,000、2,500、3,300、5,700磅@ 80 PSI |
阻尼（10:1） | < 3 sd> |
DC-2020數字控制器 | |
處理器 | 雙核： |
模擬I/O | 32/24通道（16/16位） |
采樣率 | 標稱值為5 kHz |
前面板 | 電源開關 |
后面板 | 電源輸入 |
用戶界面 | 通過USB或以太網的GUI |
電源 | 90-240 VAC，50-60 Hz，最大100 W |
尺寸（寬 x 深 x 高） | 16.8 x 9.0 x 1.75英寸 |
功率放大器 | |
通道 | 8 |
每個通道的最大電流 | 7 A |
輸入 | 線性 |
峰值功率 | 總共700瓦 |
冷卻 | 環境，強制通風 |
保護 | 可復位保險絲、電子熱保護、過流、欠壓 |
操作 | 遙控或手動 |
尺寸 | 1 RETMA機架單元高度 x 15英寸（381毫米）深 |
應用說明
Electro-Damp®
在Precitech的Freeform L超精密機床上使用PEPS II-VX進行3軸（XYZ）測量
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