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MX51工業(yè)檢測半導(dǎo)體顯微鏡 詳細介紹：

考慮了檢查效率的設(shè)計 高靈敏度載物臺可以迅速決定位置

內(nèi)置離合器的載物臺手柄

MX51主要操作部件集中在前面，操作人員易于操作，即使長時間操作也不會感到疲勞。150mm載物臺內(nèi)置離合器，可實現(xiàn)輕松移動。

電動物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖

電動物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖 電動物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機，在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。

鮮明圖像和的分辨率為特點的光學(xué)系 多種選擇可實現(xiàn)的成像性能

UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產(chǎn)品陣容，可按照用途選用。另外，波像差控制帶來的高品質(zhì)，忠實于樣本的中性色彩顯示等，UIS2物鏡無論是在目視觀察中還是在數(shù)碼影像觀察中都能發(fā)揮它的性能。

觀察影像實例

明視場觀察

暗視場觀察

微分干涉觀察

熒光觀察

豐富的產(chǎn)品陣容，可按需選擇
MPLAPON 平場復(fù)消色差透鏡 MPLFLN 平場半復(fù)消色差透鏡
MPLFLN-BD 明暗視場用平場半復(fù)消色差透鏡
MPLFLN-BDP 反射偏振光用平場半復(fù)消色差透鏡
LMPLFLN 長工作距離平場半復(fù)消色差透鏡
LMPLFLN-BD 明暗視場用長工作距離平場半復(fù)消色差透鏡
MPLN 平場消色差透鏡
MPLN-BD 明暗視場用平場消色差透鏡
SLMPLN 超長工作距離平場消色差透鏡
LCPLFLN-LCD 液晶長工作距離平場半復(fù)消色差透鏡

MX51工業(yè)檢測半導(dǎo)體顯微鏡軟件方案
使用數(shù)碼照相機記錄和保存數(shù)碼影像

幫助實現(xiàn)多種觀察方法的附件
近紅外線觀察單元

由可見光線領(lǐng)域到近紅外線領(lǐng)域的像差校正物鏡，和紅外線用超廣角三目鏡筒等，備有各種對應(yīng)近紅外線觀察的單元。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。

近紅外線觀察單元

近紅外線觀察

熒光觀察單元

在滑桿上追加鏡子裝置可以對應(yīng)熒光觀察。備有U.B.G激勵的反射鏡裝置，可有效地檢查和分析有機EL和殘留光刻膠。

熒光鏡單元

熒光觀察

透射照明單元

透射照明單元

對應(yīng)光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載，實現(xiàn)了透射簡易偏振光觀察。有通用的A型號和高NA（數(shù)值孔徑）的B型號兩種型號。