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更新時(shí)間：2025-02-05 21:00:07
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在高分辨率、受好評(píng)的FineSAT Ⅲ的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步提高了分辨率。
為提高分辨率，提高了以往使用的超聲波頻率。 在高頻化方面，超聲波在傳播介質(zhì)中的衰減越來(lái)越大，信噪比降低的弊端變大，所以在檢查用途方面，300MHz前后是實(shí)用的*高頻率。
300MHz頻率的超聲波，在*佳條件下，僅限于5μm左右寬度的線型識(shí)別，對(duì)于正在應(yīng)用于*新LSI封裝的TSV、Cu柱等微細(xì)結(jié)構(gòu)體的檢查時(shí)，可能無(wú)法適用。
FineSAT HR開發(fā)了新型電路、提高了分辨率，成功突破了這類超聲波檢查裝置的ji限。
| FS100ⅢHR | FS200ⅢHR | FS300ⅢHR | |
| 支持探頭頻率(MHz) | 5～75 | 5～140 | 5～300 |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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