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產品簡介
詳細介紹
數控機床校準激光干涉儀
數控機床校準激光干涉儀通過與不同的光學組件結合，可實現對線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何量的檢測，是高精度線性位移測量、數控機床校準、三坐標機校準、光學平臺校準的高效率量測工具。
系統組成：
雙頻激光頭及附件
環境補償單元
測量軟件、 分析軟件
線性位移測量鏡組（選配：角度、直線度、垂直度、平面度測量鏡組等）
光學調整附件
三腳架及其他測量附件
產品優勢：
采用雙頻激光，測量精度高
緊湊設計，適合外出服務攜帶
抗*力強，大型機床長距離檢測時也能保證穩定精準
自動環境補償，不同溫度、濕度、壓力環境中也能精確檢測
符合測校國家標準的測量分析軟件
自動生成測量數據報表和誤差校正補償文件。
典型頻差6±1MHz，測速高達2m/s。
數控機床檢測必要性：
首先，新機床出廠前都要進行定位精度和重復定位精度以及反向間隙的檢測，現在大多使用激光干涉儀進行。
其次，機床使用一段時間后，由于絲杠的磨損和其他原因，精度會逐漸喪失，這時需要使用激光干涉儀進行精度的再校準。
后，激光干涉儀還可以進行其他項目的檢測，例如直線度，垂直度，角度等。
技術參數：
雙頻激光頻差 | 6±1MHz |
激光穩頻精度 | ±0.03ppm |
真空波長 | 632.99nm |
激光功率 | >0.5mW |
激光光束直徑 | 6mm |
波長補償精度 | ±0.4ppm |
預熱時間 | <10分鐘 |
雙頻激光頭尺寸（重量） | 230mmx125mmx80mm(2.60kg) |
測量長度范圍 | 0-40m |
測量精度 (使用 LC-2000環境補償器) | ±0.4ppm* (±0.4μm/m)* |
精度范圍 | 0℃-40℃ |
分辨率 | 1nm |
測量速度 | 2m/s |
系統測量能力 | 線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度 |
接口 | 內置 USB 通訊端口，無需單獨接口 |
觸發脈沖輸入 | 是 |
動態采集頻率 | 100Hz-40 kHz |
*注：精度值不包括將材料溫度歸一化為20℃時與其有關的誤差 |